PECVD法制备相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

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在异质结电池中,窗口层的制备是非常关键的一步.功率对PECVD法制备窗口层材料有重要影响.本文使用不同功率制备窗口层材料,将其应......

会议

功率 PECVD法制备窗口层材料单晶硅衬底异质结电池重要影响轰击高性能

非制冷焦平面红外探测器微桥结构支撑层的PECVD法制备及研究

非制冷焦平面红外探测器(UFPA)微桥结构的使用，大大降低了探测器热量的损耗，从而提高了探测器的响应度。由于氮化硅薄膜具有低热导、......

学位

PECVD法制备氮化硅薄膜微桥结构红外探测器

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