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PMCZ炉相关论文

用PMCZ法生长的单晶硅中氧和电阻率的均匀性

用永磁体环形磁场直拉(PMCZ)炉代替普通的MCZ炉生长了质量较高的单晶硅在PMCZ炉中水平辐射状磁力线均匀分布,可有效地抑制熔体中不......

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热对流氧杂质单晶硅电阻率 PMCZ炉晶体生长永磁场直拉炉 Crystal growth Electric conductivity Heat conv

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