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用Van der Pauw法研究硼重掺杂金刚石薄膜电学性质
以B2O3作掺杂剂,用热丝辅助化学气相沉积法成功合成了硼掺杂半导体金刚石薄膜。用Van der Pauw法测量了掺硼金刚石薄膜的电阻率,霍耳迁移率以及载......
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