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一种1.5—2μm双掺杂多晶硅栅CMOS工艺研究
采用常规P阱硅栅CMOS改进工艺,进行1.5 ̄2μmCMOS工艺研究。与常规工艺相比,做出的PMOS管漏源击穿电压可达18 ̄23V,5V工作电压下沟道调制效应较小,相应的欧拉电压可达......
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