Pyrex7740玻璃相关论文
制造技术是MEMS(微电子机械系统)产业化进程的核心技术之一,Pyrex7740玻璃在MEMS领域是一种常用材料。由于Pyrex7740玻璃在500℃以......
本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD......
期刊
研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液......
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积（LPCVD）多晶硅、Cr／Au金属层＋光刻胶等，但往往会在玻璃中引入应力，影响后期应用（如阳极键合），而......
期刊
