Pyrex7740玻璃相关论文
研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液......
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积（LPCVD）多晶硅、Cr／Au金属层＋光刻胶等，但往往会在玻璃中引入应力，影响后期应用（如阳极键合），而......
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