RF溅射损伤相关论文
对采用MOCVD方法沉积的ZnO单晶薄膜的欧姆接触特性、光电特性进行了研究,并对比研究了射频溅射沉积SiO2抗反射膜对ZnO薄膜I-V、光......
对采用MOCVD方法沉积的ZnO单晶薄膜的欧姆接触特性、光电特性进行了研究，并对比研究了射频溅射沉积SiO2抗反射膜对ZnO薄膜I-V、光电......
