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用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征
以Ar气作为工作气体,CH4作为反应气体,利用低压反应离子镀(RLVIP)技术在Ge基底上成功制备出类金刚石(DLC)薄膜。通过拉曼光谱、Perking......
期刊
低压反应离子镀
类金刚石薄膜
拉曼光谱
显微硬度
RLVIP
DLC film
Raman spectroscopy
nano-hardness
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