Renishaw激光干涉仪相关论文
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阐述了用Ren ishaw激光干涉法测量误差的原理,并且通过计算机控制的误差补偿系统对数控机床的定位误差进行补偿,实验结果表明这种......
以激光干涉仪的结构和工作原理为基础,结合激光干涉仪测量误差的原理,建立误差测量的模型,通过激光干涉仪自带的误差补偿系统对数......