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3C-SiC/Si(111)的掠入射X射线衍射研究
在衬底温度为1000℃条件下,利用固源分子束外延(SSMBE)技术在Si衬底上生长3C-SiC单晶薄膜.RHEED结果显示在Si(111)上所生长的SiC薄膜为......
期刊
X射线衍射
掠入射衍射
硅
碳化硅
固源分子束外延
XRD
GID
Si
SiC
SSMBE
SiC薄膜的SSMBE外延生长及其结构表征
SiC作为第三代宽带隙半导体材料,因具有优异的物理化学性能,在高温、高频、高压、大功率的电子器件以及光电子器件等应用领域中占有......
学位
SIC
半高宽
SSMBE
量子阱结构
晶格失配
摇摆曲线
外延生长
SiC
同质异构
结构表征
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