SU-8膜的厚度相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

SU-8膜的厚度相关论文

基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究

以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/......

期刊

表面等离子体共振效应二维金属亚波长孔阵列结构 SU-8膜的厚度透射增强特性 two-dimensional metallic sub-wavelength

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