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Sc膜相关论文

衬底温度对Sc、ScD_2膜的微观结构的影响(英文)

采用电子束沉积的方法在底衬Mo(Rq≈5~8.63nm)上制备了厚度为2~3μm的Sc膜,再将Sc膜在Sievert真空系统中进行吸氘。结果表明:在底......

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衬底温度对Sc、ScD2膜的微观结构的影响

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Sc膜氘化物底衬温度微观结构电子束沉积

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