Si基SiO2光波导相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

Si基SiO2光波导相关论文

减小SiO2光波导表面粗糙度的ICP干法刻蚀工艺研究

波导表面粗糙度引起的散射损耗是SiO2光波导传输损耗的主要来源，通过降低表面粗糙度可以获得低损耗SiO2光波导。通过优化ICP干法刻......

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Si基SiO2光波导 ICP刻蚀表面粗糙度 silicon-based SiO2 optical waveguide ICP etching surfac

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