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Si-OH结构相关论文
Si-OH基团对SiCOH低k薄膜性能的影响与控制
研究了十甲基环五硅氧烷(D5)的电子回旋共振等离子体沉积的SiCOH薄膜中Si—OH基团对介电性能和漏电流的影响.结果表明Si—OH含量的......
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SiCOH薄膜
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