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Si-Si直接键合相关论文
Si-Si直接键合的杂质分布
在Si—Si直接键合过程中,界面处存在一层很薄的厚度恒定的本征SiO2.Si对SiO2中的杂质的抽取效应,导致了杂质在界面处的浓度大大降低,根......
期刊
Si-Si直接键合
抽取效应
本征SiO2
silicon direct bonding extractive effect native oxide
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