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Si3N4晶化相关论文

TiN／Si3N4纳米多层膜的生长结构与超硬效应

采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了......

期刊

TiN/Si3N4纳米多层膜 Si3N4晶化外延生长超硬效应 TiN/Si3N4 nanomultilayers Crystallization of S

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