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Sid1-xGex相关论文
As^+注入Si1—xGex中应变驰豫的双晶X射线衍射研究
作者首次用X射线双晶衍射技术对注入As^+的Si0.57Ge0.43合金的晶格损伤消除和应变驰豫进行了研究,并与未注入As^+的Si0\57Ge0\43合金的应变驰豫进行了比较。结表明,退火......
期刊
砷离注入
Sid1-xGex
应变驰豫
X射线衍射
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