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Pt掺杂对Sb:SnO2薄膜酒敏性能的影响
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al2O3基片上旋转涂敷制得掺Sb的SnO2薄膜。再经直流溅射制得掺Pt的Sb:SnO2薄膜,探讨了不同Pt添加量对气......
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SNO2薄膜
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PT掺杂
酒敏
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Alcohol sensor
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