采用射频TCP（Transverse coupled pluma）等离子体辅助电子枪蒸发技术首次在室温下制备了氮化铝薄膜，用傅立叶变换红外光谱仪分析了氮......

TiN呈金黄色，硬度大，熔点高，抗腐蚀性、抗磨损性及抗氧化性好，导电性和导热性良好，在机械工业、微电子制造业、珠宝装饰业、玻璃制造业......

采用TCP(Transverse coupled plasma)等离子体辅助电子枪蒸镀技术,在玻璃衬底上制备了TiN薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微......