对polySi/SiO_2/Si结构上的共溅射 Ta +xSi 薄层未经退火处理在1000℃/30＇条件下进行直接湿氧氧化,经AES和X衍射检测分析,得知氧化......

采用ＸＲＤ，ＴＥＭ和ＳＥＭ研究了用机械化学反应法制备金属间化合物ＴａＣ和ＴａＳｉ２时的结构演变，结果表明：ＴａＣ和ＴａＳｉ２是通过互扩散由元素直接反应合成的，高能球磨引入的高密度......