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衬底热空穴导致的薄栅介质经时击穿的物理模型研究1
该文定量研究了热电子和空穴注入对薄栅氧化层击穿的影响,讨论了不同应力条件下的阈值电压变化,首次提出了薄栅氧化层的经时击穿是......
期刊
衬底热空穴
经时击穿
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热电子注入
空穴注入
薄栅氧化层
Thingateoxide
TimeDependentDielectricBreakdown(
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