Ti-Si-Al-N薄膜相关硕士博士期刊学术论文

通过在薄膜中掺杂一种或多种其他元素改善或提高薄膜性能，如硬度或热稳定性等，是一种提高薄膜性能的有效方法，而以TiN体系为基础，掺杂......