Ti-Si-N纳米复合薄膜相关论文
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TiN薄膜具有高硬度、低磨擦系数等优良的综合机械性能,已作为耐磨减摩涂层得到广播应用[1].尽管TiN薄膜作为涂层材料具有优良的综......
