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TiAlCrN薄膜相关论文

磁控溅射制备TiAlCrN硬质薄膜及其抗腐蚀性能

采用反应磁控共溅射的方法，通过改变Cr靶溅射功率，在不锈钢基体上沉积不同cr含量TiAlCrN薄膜。采用原子力显微镜（AFM）观察薄膜表面形貌......

期刊

反应磁控共溅射 TiAlCrN薄膜原子力显微镜抗腐蚀性 CR含量 TiAlCrN coating reactive magnetron co-sputter

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