VSiN涂层相关硕士博士期刊学术论文

VSiN涂层相关论文

采用JGP-450A2磁控溅射仪制备了一系列不同Si含量（≤20%（原子比））的VSi N涂层。利用结构和性能测试仪器对VSi N涂层的微结构、力学性能......

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