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Vapour—deposition相关论文
沉积方式与基体材料对TiN薄膜内应力的影响
本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的......
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气相沉积
薄膜
内应力
氮化钛
Vapour—deposition
TiN films
Internal stresses
X-ray diffracti
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