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a—SiC:H薄膜相关论文
γ射线辐照对a-SiC:H薄膜结构与特性的影响
采用射频(13.56 MHz)反应溅射方法制备a-SiC:H 薄膜,并将其在空气中进行高能γ射线(平均为1.25 MeV)辐照,5个样品的吸收剂量分别为......
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a—SiC:H薄膜
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