a-SiC∶H薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

a-SiC∶H薄膜相关论文

KrF准分子激光退火氢化非晶碳化硅薄膜的晶化研究

介绍了利用KrF准分子脉冲激光对氢化非晶碳化硅(a-SiC∶H)薄膜进行激光退火以实现薄膜的结晶化。利用等离子增强化学气相沉积(PECV......

期刊

激光光学激光退火 a-SiC∶H薄膜表面波纹现象 laser optics laser annealing a-SiC∶H films surface co

看过本文同时还关注