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变间隙不接触三电极薄膜材料介电参数的测量
利用自行研制的高精度变间隙不接触三电极系统,研究了在薄膜材料(厚度小于30μm)相对电容率(εr)和介质损耗角正切(tanδ)测量中的相关技......
期刊
空气介质
变间隙
不接触三电极
介电参数
薄膜
air-medium
adjustable space
non-contact 3-electrode
d
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