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富磷熔体中生长的φ100mm掺硫InP单晶研究

采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟(InP)熔体,并利用液封直拉法(LEC)生长出了φ100 mm InP掺硫单晶材料.对富磷......

期刊

磷化铟掺硫单晶材料位错密度原位磷注入合成法富磷熔体 indium phosphide(InP) P-riched PL mapping etch-

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