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hBN薄膜相关论文
MWECR CVD系统及BN薄膜生长与特性研究
本论文介绍了我们对ECR等离子体CVD系统的测试、BN薄膜的制备和薄膜光学特性研究。首先在统计大量文献的基础上,分析了BN薄膜的研究......
学位
MWECR CVD
hBN薄膜
取向生长
cBN薄膜
MWECR
CVD系统及BN
薄膜生长与特性研究
多层膜声表面波器件LiNbO3、h-BN薄膜的制备及分析
无线通信、光纤通信系统飞速发展,低频段已经被占满,必须向高频段发展。高频声表面波(SAW)器件使用频率的升高,使它在雷达、电子战......
学位
声表面波滤波器
磁控溅射
LiNbO3
hBN薄膜
XRD
择优取向
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