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laserthin-filmstressmeasurement相关论文
薄膜应力激光测量方法分析
总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量......
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