A combination of both conventional and advanced high-resolution characterization techniques was ap-plied to study the mo......

介绍了利用过滤电弧离子镀沉积(TiAl)N薄膜初步的研究结果.在电弧靶材前沿的磁场作用下,有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸,并极大地降......

由阴极过程主导的ＶＡＤ等离子体并不满足局部热力学平衡条件，其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏......

带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,非常适合应用于高功率微波与毫米波真空电子器件电子注形成。该文针对带状电子注的这......

用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带......