micro-manufacturing相关论文
当前对微成形的研究主要集中在基础理论以及实验过程上,而忽略了某些和实际生产相关的关键问题.例如,一个微成形机,如果没有与之相......
利用光辅助电化学刻蚀方法,在厚度为425μm的5英寸硅片上,制作成深宽比达50以上的微通道板阵列结构.理论分析了影响微孔阵列形貌形......
