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研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径......
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90μ......
详细讨论了微透镜阵列的设计和制作方法,并对其作为准直器件在DPL中的应用进行了分析....
介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学地(FS-MOB)的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅(SiO2)作光学材料、光刻胶和溅射铜(Cu)薄膜作......
提出用微透镜阵列把半导体激光器的列光束进行准直的方案,采用正透视对圆高斯光束的变换理论研究了微透镜的F数,得出了F数以及最小远场......
就DWDM系统的DFB阵列LD与波导器件的模式匹配问题提出了双微透镜阵列的耦合方案 ;采用微透镜对微高斯光束的变换理论对耦合微透镜......
利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀技术,在石英上刻蚀深连续面形微光学元件.分析了影响深刻蚀工艺的烘焙条件、气体组分、自偏压和刻蚀......
在微电子、微机械和微光学的基础上,休成传感器,执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在......
采用KOH:H2O的湿法化学腐蚀Si(100)晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜,透镜直径可从几个微米到几个毫米,焦距和孔径之比f/D可以从2.5到10以上,文章给出了......