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关于镍薄膜热电阻研制的几个问题
就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨,实验结果表明:可以选用国产0号镍,采用S-枪磁控溅射技术制备镍薄......
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镍薄膜热电阻
温度传感器
S-枪磁控溅技术
热处理工艺
电阻温度系数
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