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就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨,实验结果表明:可以选用国产0号镍,采用S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻;合适的热处理工艺是保证电阻温度系数α值及其一致性的关键;运用保护膜技术可以提高镍薄膜热电阻温度传感器的长期稳定性.
关于镍薄膜热电阻研制的几个问题
【摘 要】
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就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨,实验结果表明:可以选用国产0号镍,采用S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻;合适的热处理工艺是保证电阻温度
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程系
【出 处】
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浙江大学学报：工学版
【发表日期】
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2002年1期
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