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poly-crystallization相关论文
a—SiGex:H薄膜准分子激光晶化的研究
用KrF准分子激光、XeCl准分子激光在不同条件下对Ge含量不同的四种a-SiGe:H样品进行退火,只要激光退火能量密度合适,Ge含量不同的a-SiGe:H薄膜都可以被多晶化;随着......
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