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一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制
一体化湿湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Al2O3陶1基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器,湿度传感器采......
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