采用直流磁控溅射的方法，在Ｓｉ（１１１）基片上沉积ＡＩＮ（１００）面择优取向薄膜，研究了溅射功率对ＡＩＮ薄膜结构及表面粗糙度的影响。结果表明，随着溅射功率的增加，沉......