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三维微动工作台相关论文
基于原子力显微镜的纳米三维刻划加工控制系统
介绍了一套新型的纳米三维刻划加工控制系统,系统基于AFM原子力显微镜,配合三维微动工作台,设计开发了专门的加工控制装置,成功的实现......
期刊
原子力显微镜
三维刻划加工
三维微动工作台
AFM; three-- dimensional nanoseratehing; three-- dimension
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