简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用，并对几种典型光驱动方式进行了......

本文主要介绍近两年来飞秒激光微加工技术进展，其中包括飞秒激光微加工原理与实验系统，微加工工艺研究以及双光子飞秒激光三维微器件......

阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一......

ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的......

介绍了一种新型的三维微细加工技术,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统.双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点......

阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一......

随着MEMS技术飞速发展,集成机械、电子、光学和生物功能的三维微器件或微机构得到了众多研究者的重视。三维微器件或机构可以广泛......