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三维微图形相关论文
镍表面三维微图形的复制加工
运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕......
期刊
镍
三维微图形
复制加工
约束刻蚀剂层技术
化学刻蚀
捕捉体系
微系统技术
Confined etchant layer technique (CELT)
N
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