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三维神经网格相关论文

二氧化硅光波导刻蚀参量及掩膜的优化

硅基二氧化硅光波导是光通信中的关键器件．采用光刻胶以及金属作为掩膜进行了反应离子刻蚀二氧化硅光波导的工艺研究，获得了刻蚀速率......

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反应离子刻蚀硅基二氧化硅光波导三维神经网格 reactive ion etching silica-on-silicon optical waveguide

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