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中空阴极弧光离子源相关论文
离子源辅助电弧离子镀制备MoSx自润滑涂层
以Ar为输送气体,H2S为S源,纯金属Mo为Mo源,采用中空阴极弧光离子源结合电弧离子镀系统,在单晶Si(100)和硬质合金衬底上制备MoSx自......
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自润滑涂层
中空阴极弧光离子源
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