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蓝宝石衬底上射频溅射法生长CeO2外延薄膜研究
实验采用射频溅射法在(1 102)蓝宝石基片上制备(00l)取向CeO2外延薄膜.低温、低溅射功率都会导致CeO2薄膜呈(111)取向生长.当基片......
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YBCO超导薄膜
CeO2缓冲层
外延生长
CeO2薄膜
取向生长
射频溅射法
外延薄膜
蓝宝石衬底
YBA2CU3O7-Δ
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