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介电层粗糙相关论文
介电层粗糙对电容式RF MEMS开关down态电容退化的影响
电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此......
期刊
RF MEMS
电容式开关
介电层粗糙
自锁
down态电容退化
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