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随着Si基器件发展遇到瓶颈,具有更优异性能且与Si基CMOS工艺良好兼容的Ge基器件展现出了应用于集成电子与光电子领域的广阔前景.然......
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本文阐述了多晶硅片效率提升方向，降低多晶硅片电阻率，收窄电阻率分布有助于提升PERC工艺下转换效率；合适的电阻率匹配不仅可以提升转......
