低压等离子体增强化学气相沉积法相关论文
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选用体积分数为99.9999%的H2及反式-2-丁烯(T2B)为工作气体,利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α—C:H薄膜。利用傅里叶变换红外......