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低应力振动膜相关论文
电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证......
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微电子机械系统(MEMS)器件
电容式传声器
低应力振动膜
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