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碳化硅超级结肖特基二极管的理论和工艺研究
近年来,随着新能源汽车、轨道交通、能源互联网和国防军工等应用领域的快速发展,碳化硅(SiC)凭借着卓越的材料性能受到产业界和学术......
学位
碳化硅
超级结
肖特基二极管
沟槽角度
多层外延结构
宽槽终端
深沟槽刻蚀
侧壁离子注入
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